FFU的应用

FFU (Fan Filter Unit) ，是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口，它与其专用龙骨系统(Ceiling Grid) 、冷却盘管(一般为干盘管)。加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。FFU的使用方式是新风有新风空调机处理至所器状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至F盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统最为常用于有超静要求的洁净室，如大型集成电路晶圆的制造。尖瑞显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。其优点如下:

1、系统非常灵话，可随时调整

因洁净室的壁板都以天花板格子的模数(如1 200*600)来布置.并且由于其特殊的节点构治

沽净室的壁板可以随时调整位置，以此改变房间的布局。同时如果房间的洁净度需要调整，可以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能的。

2、出风均匀稳定

FFU因自带风机，出风均匀而稳定。避免了集中送风系统各送风口风量平衡的问题。对于垂直单向流洁净室尤为有利。

3.节能显著

FFU系统风管很少，除新风以风管送达外，大量的回风以小循环的方式在运行，因此大大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般为0.3-0.45m/s,过滤器阻力小,FFU的无壳风机功率很小,新型的FFU采用了高效率电动机,同时对风机叶轮形状也进行了改进,其综合效率以大为提高。据笔者估算，FFU系统一般可比集中送风的净化系统节能30%以上，使FFU系统在二。三年内就可通过节省电费把增加的初投资部分(与集中送风的净化系统相比)省回来。

4、节省空间

因省去了巨大的送回风管，故可节省安装空间。对于层高紧张的改建项目非常合适。带来的另一个好处因风管很少空间相对宣敞而使工期缩短。

5、风口、 灯具、烟感、喷淋、静电中和暑等的合理布局

这些洁净室常用装置都在上有各自的安装天花板格子位置，既合理又美观。而在集中送风的净化系统里这些装置的布局经常冲突，吊顶显得拥挤不堪。

6.负压密封

FFU送风系统的静压箱为负压，因此即使风口安装存在渡漏，也是从洁净室向静压箱漕漏。不会形成对洁净室的污染。

FFU系统也有缺点:风机数量大，故障机率大。且因FFU布置在吊顶上，维修有一定困难。而集中风系统因设备较为集中，数量也少，易于维护。但这也不完全是缺点: FFU系统正是因为数量众多面分散，通常少量的FFU出现故障。并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只婴-一台AHU出现故障，就会造成大面积的法净室停止运行，对生产的影响很大。在几乎所有的项目中，冷陈机.空压机。纯水设备。水泵。真空泵抢救无效都可以做到备份，尽量减少设备故障对生活的影响。唯独空调箱的备份几乎没用。FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。