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维度 |
内容 |
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客户 |
旭化成 |
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客户需求 |
设备在洁净室内运转时,排气散热产生微颗粒,对洁净室洁净度产生影响 |
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解决方案 |
采用负压过滤方式进行净化;过滤装置安装在设备排风口 |
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落地结果 |
有效过滤设备排风中的微颗粒,保障洁净室洁净度 |

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